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阿特拉斯·科普柯集团杂志
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为安全 防患于未然
当韩国的一家半导体生产教育中心经历了两次与氮气相关的严重爆炸后,他们决定用阿特拉斯·科普柯的现场制氮解决方案替换原有的机器。
半导体是现代电子产品的核心,而韩国在这一行业居于领导地位。位于这里的世界领先的半导体制造商正在不断寻找技能娴熟的员工,为了满足这一需求,韩国理工大学(Korea Tech)在天安市建立了一个先进的教育中心。
每年约有 10000 名学生通过这个半导体设备技术教育中心接受半导体和太阳能电池生产方面的培训。大多数是大学生,但该中心也欢迎外部培训生、研究人员、教师和在半导体制造公司工作的人员前来学习。该教育中心在专业知识和设施方面在韩国排名前列。
由于全年都提供培训,该中心必须拥有全天候可用的压缩空气和氮气供应。氮气在半导体制造中发挥着重要作用。这是一种非常危险的气体,能够造成窒息。除此之外,它极易爆炸,必须非常小心地处理。
“许多学校和小型研究机构出于成本原因使用液氮,但处理液氮有风险。我们更喜欢在现场安装我们自己的制氮机,我们认为这样做更具成本效益 。” 技术支持团队经理 Cheolho Im 说道。
“我们的实验室经历了两次严重爆炸。幸运的是,没有人员伤亡,但必须更换重要的机器零件。毋庸置疑,安全性和可靠性是我们最重视的方面,因此我们决定寻找一家新的供应商。在搜寻信息时,我发现阿特拉斯·科普柯不仅提供空气压缩机,还提供制氮机。由于我们已经对其空气压缩机有了非常积极的使用体验,我们认为阿特拉斯·科普柯品牌的可靠性是有保障的。”Cheolho Im 表示。
2019 年 12 月,该中心安装了阿特拉斯·科普柯制氮机和氮气压缩机。该解决方案与已在使用的阿特拉斯·科普柯无油空气压缩机相结合,现在用于为半导体洁净室提供氮气和压缩空气。
“在新机器的支持下,即便是少量的压缩空气也能达到近乎完美的纯度。”首席研究员 Seokil Yoon 说道,“正确地过滤掉油和灰尘至关重要。任何污染都可能导致制氮机和连接的管道爆炸。如果通向半导体生产设施的管道受到污染,所有设备都必须更换,这不仅成本高昂,而且非常耗时。凭借我们新的解决方案,这不再是个问题。”
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